大型內(nèi)壓縮流程的空分設(shè)備，在20世紀80年代初組要由于大型合成氨工程的上馬，由德國Linde公司引入我國。到了90年代隨著我國大型冶金、石化企業(yè)的發(fā)展，相繼引進了一批大型內(nèi)壓縮空分設(shè)備。2001年后內(nèi)壓縮的工藝流程形式已經(jīng)取得了飛速的發(fā)展，空氣凈化采用分子篩吸附，制氧采用了全精餾無氫制氬流程。同時這種新的流程形式也得到了國內(nèi)冶金、石化企業(yè)的關(guān)注，正是由于內(nèi)壓縮流程的一些新的特點，如用增壓空氣壓縮機+液氧泵+中亞換熱器取代了較為復(fù)雜的氧透，在客觀上為制氧行業(yè)提供了一個新的流程選擇形式。