7月11日,全省科技創新大會在省人民大會堂舉行,頒發了306項2021年度浙江省科學技術獎。獲得浙江省科學技術進步獎一等獎2家、二等獎3家、三等獎1家,浙江省技術發明獎二等獎1家。
其中,杭州福斯達深冷裝備股份有限公司的《基于雙塔雙冷凝深冷技術的芯片專用超高純制氮成套裝置》獲得浙江省科學技術進步獎三等獎。
其中,杭州福斯達深冷裝備股份有限公司的《基于雙塔雙冷凝深冷技術的芯片專用超高純制氮成套裝置》獲得浙江省科學技術進步獎三等獎。
7月11日,全省科技創新大會在省人民大會堂舉行,頒發了306項2021年度浙江省科學技術獎。獲得浙江省科學技術進