近日，珠海市工業和信息化局公開征求《珠海市電子化學品產業發展三年行動方案（2025—2027年）（征求意見稿）》意見。

致力于發展我國電子化學品“卡脖子”技術以及進口替代產品，支持引育一批掌握新工藝、新技術的團隊或中小型科技企業，推動產業鏈條向高附加值領域攀升。

（一）半導體集成電路及分立器件用電子化學品

1.基材

重點發展8英寸、12英寸硅片，碳化硅、氮化鎵、磷化銦等新一代化合物半導體襯底材料及外延片；前瞻布局氧化鎵、銻化鎵、銻化銦等第四代半導體材料。

2.制程化學品及材料

拋光材料。依托現有化學機械拋光（CMP）漿料及拋光墊重點企業，重點發展氧化鋁、氧化鈰、氧化硅、氧化鎢、氮化硅、氮化鋁等高純研磨顆粒，硝酸鈰、硝酸鋁、硝酸鎳等高純拋光劑，以及軟質（聚氨酯墊、細毛氈墊、絨毛布墊）和硬質（纖維織物墊、聚乙烯墊）拋光墊等。

光掩膜版。重點發展勻膠鉻版光掩模版，KrF、ArF移項光掩模版，前瞻布局深紫外光（DUV）掩膜版。

超凈高純電子特氣。重點發展氮、氧、氬、氫、氦等背景氣；四甲基環四硅氧烷（TMCTS）、正硅酸乙酯、乙硅烷、丙硅烷、二乙基硅烷（DES）等硅烷氣；硼烷、鍺烷、磷烷、硒烷、甲烷、乙烷、丙烷、丙烯、CO、CO2等超凈高純電子特氣。