隨著半導體制程的日益精密和高效率要求，超高純度工業氣體的需求不斷攀升。2025年5月6日，亞東工業氣體在華亞科技園區舉行了新廠奠基儀式。新廠將專注于生產超高純度的氮氣、氧氣和氬氣，為半導體制程的穩定運行提供關鍵支持。

亞東工業氣體在半導體產業深耕多年，其華亞基地自2012年起就持續供應高品質的電子級氮氣和氧氣。為了應對人工智能浪潮帶來的制程升級和氣體用量增長，亞東工業氣體選擇在華亞科技園區原址擴建新廠。這是繼2024年完成司馬庫斯廠和觀音二氧化碳回收設備之后，亞東工業氣體啟動的又一重大產能擴張項目。

新廠將采用最新的模塊化設備，不僅能大幅縮短建設時間，提高建廠效率，還具備高度的運營靈活性，能夠同時生產電子級氮氣、氧氣、氬氣和液態氮。預計新廠啟用后，華亞基地的電子級氮氣供應能力將大幅提升，整體制程效率也將提高約5%，從而有效增強客戶的生產穩定性和競爭力。生產電子級氣體的難度遠高于普通工業氣體，需要經過層層精密凈化和監控，以達到十億分之一（ppb）級別的純度。這對氣體廠商的制程技術、設備管理和質量控制都提出了極高的要求。

亞東工業氣體（Air Liquide Far Eastern；ALFE）是由全球工業氣體制造和服務的領導者、擁有百年歷史的法國液空集團（Air Liquide）與遠東新世紀集團（Far Eastern）于1987年在臺灣省合資成立的，是臺灣地區投資規模最大的法資制造商。長期以來，亞東工業氣體以高品質的工業氣體、特殊氣體和先進材料，支持著半導體產業的發展。