六氟化硫，分子式SF6，相對分子質量為146.06，常溫常壓下為無色、無味、無毒、無腐蝕性、不燃、不爆炸的氣體，密度約為空氣的5倍，標準狀態下密度為6.0886kg/立米.在低溫和加壓情況下呈液態，冷凍后變成白色固體。升華溫度為-63.9℃,熔點-50.8℃,臨界溫度45.55℃，臨界壓力為3.759MPa。

從有關部門的試驗及研究結果可知，六氟化硫氣體的毒性主要來自5個方面。

（1）六氟化硫產品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。

（2）電器設備內的六氟化硫氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。

（3）電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。

（4）電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產物。

（5）電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。

六氟化硫

六氟化硫雖然有毒，但是用途非常廣泛

用作六氟化硫斷路器、互導傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體 ；用作鎂鋁合金壓鑄的保護氣體 ；電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體，廣泛應用于微電子技術領域 ；作為光導纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑 ；作為大氣污染監測和水文地質檢測領域的示蹤劑 ；肝臟腫瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途。