六氟化硫氣體能使人窒息，是很多類型斷路器正常運行所必須使用的介質。因此，熟練掌握斷路器充六氟化硫氣體的方法很有必要。根據經驗，應在天氣晴朗、通風良好的前提下充氣，按下列步驟操作：

第一步，將六氟化硫斷路器退出運行，并做好安全保障工作。六氟化硫氣瓶直立放置，接上氧氣減壓閥，將充氣管與減壓閥連接好。打開氣瓶閥門，再開啟減壓閥，使低壓側壓力為2萬~4萬帕，然后用直徑為8毫米的紫銅棒將充氣管閥芯頂開，放氣5~10秒沖洗管道。

第二步，測定斷路器周圍的環境溫度，根據廠家提供的溫度—壓力曲線，查得斷路器在充氣時的額定壓力值。將斷路器C相傳動箱下的堵頭旋下，把充氣管接上，然后緩慢開啟減壓閥對斷路器充氣。當聽到連接管中有充氣聲音，證明減壓閥已正常工作。當斷路器內氣體壓力接近額定壓力時，應緩慢充氣，以避免斷路器壓力過高。

當斷路器內氣體充到額定氣壓時,關閉減壓閥，先將充氣管從斷路器接口卸下，并隨即把堵頭擰到接口上，將接頭與充氣管連接處旋開。關閉氣瓶閥門，卸下減壓閥，將減壓閥和接頭放到干燥的地方存放，以備下次再用。

第三步，斷路器在充至額定壓力后，應對所有密封面進行定性檢漏。如果發現漏點，可與生產廠家聯系處理。此外，還應檢查斷路器內六氟化硫氣體含水量。測量水分應在充氣24小時后進行。利用斷路器充氣口，接上錐形針式減壓閥用以控制氣體流量，用微量水分檢測儀測量。測得數據應根據環境溫度并對照廠家提供的水分含量—溫度曲線，現場交接時其數值不應超過150微升/升(20攝氏度)，運行中不超過300微升/升(20攝氏度)。

第四步，記錄當天的溫度、濕度及六氟化硫壓力值，并在六氟化硫壓力表指示處做一標記，以便日后觀測比較，判斷其運行狀態是否存在異常。