（1） SiHCl3的合成

第一步：由硅石制取粗硅 硅石（SiO2）和適量的焦炭混合，并在電爐內加熱至1600~1800℃

可制得純度為95%~99%的粗硅。其反應式如下：

SiO2+3C=SiC+2CO（g）↑

2SiC+SiO2=3Si+2CO（g）↑

總反應式：

SiO2+2C=Si+2CO（g）↑

生成的硅由電爐底部放出，澆鑄成錠。用此法生產的粗硅經酸處理后，其純度可達到99.9%。

第二步：SiHCl3的合成 SiHCl3是由干燥的氯化氫氣體和粗硅粉在合成爐中（250℃）進行合成的。

其主要反應式如下：Si+3HCl=SiHCl3+H2（g）

（2） SiHCl3的提純

由合成爐中得到的SiHCl3往往混有硼、磷、砷、鋁等雜質，并且它們是有害雜質，對單晶硅質量影響極大，必須設法除去。

近年來SiHCl3的提純方法發展很快，但由于精餾法工藝簡單、操作方便，所以，目前工業上主要用精餾法。SiHCl3精餾是利用SiHCl3與雜質氯化物的沸點不同而分離提純的。

一般合成的SiHCl3中常含有三氯化硼（BCl3）、三氯化磷（PCl3）、四氯化硅（SiCl4）、三氯化砷（AsCl3）、三氯化鋁（Al2Cl3）等氯化物。其中絕大多數氯化物的沸點與SiHCl3相差較大，因此通過精餾的方法就可以將這些雜質除去。但三氯化硼和三氯化磷的沸點與SiHCl3相近，較難分離，故需采用高效精餾，以除去這兩種雜質。精餾提純的除硼效果有一定限度，所以工業上也采用除硼效果較好的絡合物法。

SiHCl3沸點低，易燃易爆，全部操作要在低溫下進行，一般操作環境溫度不得超過25℃，并且整個過程嚴禁接觸火星，以免發生爆炸性的燃燒。

（3）SiHCl3的氫還原

提純SiHCl3和高純氫混合后，通入1150℃還原爐內進行反應，即可得到硅，總的化學反應是：SiHCl3+H2=Si+3HCl

生成的高純多晶硅淀積在多晶硅載體上。