六氟化硫是在高溫下硫和氟反應制得（即：S+3F2→SF6 ），六氟化硫在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體。不燃燒導熱系數比空氣小，為優良的冷卻介質。其獨特穩定的正八面體分子結構，使其化學性能也極不活潑，在電氣設備運行正常范圍內，與銅、鋼和鋁等