特種氣體（ Specialty gases ）門類繁多，通常可區分為電子氣體、標準氣、環保氣、醫用氣、焊接氣、殺菌氣等。廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測：、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。

特種氣體興起于20 世紀60 年代中期，為基礎化工材料，主要應用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、醫學科學、臨床診斯、醫藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展，其應用范圈也越來越廣泛。目前在特種氣體分析檢測中的色譜分析法主要有DID(氦離子先按測器）、常規氣相色譜。

DID 色譜分析儀，核心部件為放電離子化檢測器， DID 檢測器的主體由電離室和放電室組成，之間有狹窄通道，放電區域內電極兩端施以適量高壓后，可以得到一束高能量的紫外光輻射（ 400-500nm)，紫外光在電離室內使氦原子被激化，被激化的氮原子與電子碰撞產生氦離子，即通常所說的亞穩態，被激化的氦及被離子化的氦在電極前形成放電電流。分析物的檢測發生在下室即放電室，亦稱為離子化室。被激化的氦原子具有很高的能量，通過上下室之間狹小的開口進入下室，并與來自色譜柱的載氣及已分離的雜質分子發生非彈性碰撞使各種雜質分子電離。此時在集電極上加以適當電應收集被電離的雜質分子，可以得到濃度成正比的電流信號。亞穩態的高能氦原子具有較高能量，可使包括Ne 在內的很多物質分子電離，因而DID 是一種通用型檢測器，物質在DID 的響應因子與其電離時的能最有關。除對載氣He 氣外，對很多氣體都有反應，靈敏度可達10-9級，線性范圍寬，檢測范圍可從10-9~2% ，尤其是各種痕量分析。

AGC lOODID 是現階段應用在特種氣體分析中業績較多的分析儀器， 1988 年， AGC 公司的DID 檢測器在實驗室試驗成功，用高純氦氣（ 99 .9999%He ）為載氣，在一般條件下，其檢測限可達到5～10)× 10-9 （即5 × 10-9 ～10 × 10 -9，其線性為10-6，相比較TCD 線性10-3 、FID 線性10-5 ～ 10-6，還是很有挑戰價值的。

AGC 的lOODID 色譜采用反吹或中心切割，樣品進入預分離柱中進行預分離后，背景氣的峰可以通過使用閥的一次次切割從放空到排出，而需要的雜質組分峰則仍然可以進入第二根色譜柱再次分離，這使得大量的背景氣不能進入檢測器，從而可以解決主組分大峰掩蓋段小的雜質峰的問題，同時背景氣對檢測器的影響也大大降低，靈敏度相應也提高了。

在測定高純氧氣及高純氫氣等氣體中微量痕量雜質時，如果不采用中心切割技術，可配附屬設備脫氧阱和氫分離器，在樣氣進入色譜柱進行分離之前，將其中主要成分氧和氧脫掉，不僅使被測組分分離避免了主組分峰的干擾，同時也進一步提高了儀器檢測靈敏度。根據實際需要，選用不用色譜柱可以測定多種特氣體中多種雜質氣體成分，還可以配接毛細管術，擴大分離效能，檢測更多種成分。

高麥克公司（ GOW-MAG ）在上世紀90年代引入了配有DID 的氣相色譜，并結合無閥切換技術將其檢測范圍擴展至氬氣、氫氣、氮氣、氧氣、二氧化碳 等高純氣體中的雜質分析， 2008 年推出了200 系列DID 氣相色譜，能夠分析10-9級普通氣體和腐蝕性氣體氯氣、氯化氫，以及電子氣體NH3、SiH4、GeH4、PH3等。

DID色譜分析檢測中，載氣純化對分析結果是很重要的影響因素，正常純化時間在24-36h左右，充分純化。否則，很可能出現負峰。

在檢測腐蝕性或吸附性強的氣體如氯氣、氯化氫、AsH3等時，氣路管線的鈍化處理是秀有必要的，防止所測氣體因為在金屬管道中被吸附而影響最終測量結果。

常規的色譜分析儀，根據分析氣體的物理性質、含量等級等配置熱導檢測器、火焰離子檢測器，氬電離檢測器、火焰光度檢測器、放射性氦離子化檢測器、光度離子檢測器、電子捕獲檢測器等檢測器，由此也可以看出，檢測種類、含量等級的不同會有不同的配置，在特種氣體中，色譜分析儀的通用性不如DID檢測器；另外，AID、HID檢測器的輻射也是需要考慮的問題。當然，20世紀初即使用的常規色譜技術在一個世紀的時間里得到了很大的改進、發展，選擇適合的色譜技術，檢測的穩定性、使用效果還是有很大保證的。