ICP點火故障問題是因為很多原因組成，排除的方法可以是進樣系統里面的水未拍干凈，此時點火危險性很大，輕則點不著，重者炬管破裂（炬管破裂的代價有多大，不言自明），開機后點擊plasma按鈕上的PUMP,用空氣沖洗2-3min，再用氬氣沖，最后點火。

以上方法不能完成點火，那有可能是氬氣純度問題，一般來說ICP用的氬氣純度應該在0.9999以上，當然也有的資料上說是0.999999以上，當然越純越好了，所以你不論在什么情況下都要備用一瓶絕對點的著的氬氣，易排除氬氣純度的原因，否則你找工程師維修時很可能被罵。氬氣不純，一般來說ICP用的氬氣純度應該在4個9以上，當最好用5個9的氬氣。

當ICP點不著火的時候，你應該首先考慮一下是不是氬氣純度問題，如果是就要考慮換更純的氬氣，純度是沒有標準的，因為可以說是需要接近百分之百的純度，這樣才能保證作業順利完成。當然點不著火的原因還有很多，大家應該多總結、多思考。