液氬儲槽：

液氬儲槽由儲槽主體、增壓器、壓力調節裝置、安全裝置及儀控系統等組成。儲槽靠雙層容器結構來保溫，夾套中間填充珠光砂并抽真空來保證。儀控系統包括槽內壓力、液面顯示用的壓力表、液面計，二次儀表和自動調節閥等。儲槽內筒壓力增壓是由增壓器來完成的，當儲槽對外界輸出液氬有壓力要求時，調整該壓力設定值可達到要求。

汽化器：

是采用空浴式，液氬通過汽化器散熱翅片，與空氣進行熱交換，使液氬汽化輸出。汽化后的氬氣經緩沖罐后送到使設備，純度達到工藝要求。放空閥保證儲槽內壓力不超高；增壓閥保證儲槽內的壓力維持在規定的范圍；液氬流量調節閥控制液氬的汽化量，穩定汽化后氬氣的壓力。

工作壓力：≤2.5MPa（G）  

汽化量：≥120Nm3/h（單臺汽化器汽化量） 加熱方式：空氣   

汽化后氬氣出口溫度：與環境溫度溫差不大于5℃ 主體材質：鋁制翅片（LF21-R）

有了這兩個步驟，就能更快的達到工藝要求，迅速幫助液氬氣化。