吹氬的主要作用是試樣激發時趕走火花室內的空氣，減小空氣對紫外光區譜線的吸收。主要是因為空氣中的氧氣、水蒸氣在遠紫外區具有強烈的吸收帶，對分析結果造成很大的影響，且不利于激發穩定，形成或加強擴散放電，激發時產生白點。因此必須要求氬氣的純度達到99.996%以上。另外，氬氣的壓力和流量也對分析質量有一定影響，它決定氬氣對放電表面的沖擊能力，這種激發能力必須適當，過低，不足以將試樣激發過程中產生的氧氣和它形成的氧化物沖掉，這些氧化物凝集在電極表面上，從而抑制試樣的繼續激發；過大，一是造成不必要的浪費。二是對光譜儀也有一定的損傷。因此氬氣壓力和流量必須適當。據實踐證明，氬氣的壓力和流量，應根據不同材質進行調節，對中低合金鋼的分析，輸入光譜儀的氬氣壓力應達到0.5—1.5MPa，動態氬的流量為12～20個讀數，靜態氬的流量為3～5個讀數。