對于氣體來說，純度是衡量該氣體是否優質的一個標準。氬氣由于是惰性氣體，可以作為制造單晶體以及多晶體的保護氣體，為了提高硅晶體的質量，選擇高純度的氬氣至關重要，既可以提高晶體使用壽命，還可以滿足市場的需求。

氬氣純化方法：一般來說，氬氣純化過程是通過凈化裝置來實現，氬氣純化方法可分為直接脫氧法和吸氣劑純化法。

直接脫氧法：使用活性金屬與氬氣中的氧氣進行反應，消化掉氬氣中的氧氣，從而達到脫氧的目的，經過分子篩選吸附掉的氬氣中的水分子，紙氬氣的含水量修養1ppm。

 吸氣劑純化法：采用吸氣凈化劑或者干燥劑，吸氣劑可以與氬氣中微量雜質形成穩定化合物，從而達到對氬氣精制的效果，使用吸氣劑純化法提純后，純度可高達6個9的高純氬。