一、微量氧分析儀

在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準確測定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準確測定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點之一。

二、微量水分析儀

微量水分也是評價高純氣體質量的主要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質量。