1、單一組分的制備方法

制備單一組分標準氣體的方法因物質的性質不同而異。對于揮發性較強的液態物質，可利用其揮發作用制備，不能用揮發法制備的可采用化學反應法制備。

2、標準混合氣體的制備

標準混合氣體是用一種高純氣體作稀釋氣再添加一種或幾種其它的高純氣體配制而成。標準氣體的配制方法主要有稱量法、分壓法、體積法、滲透法、飽和法、電解法、指數稀釋法、流量比混合法等，從氣體動力學的角度分為靜態配氣法和動態配氣法。靜態配氣法是把一定量的氣態或蒸氣態原料氣體回入已知容積的容器中，再充入稀釋氣體，混勻制得。