目前微量氧的分析一般采用氧分儀和氣相色譜分析，不論采用哪種分析方法，微量氧的分析采樣是一個關鍵技術，因為空氣中含有大量的氧氣，如果取樣過程出現任何小的紕漏都會造成數據的嚴重失真。在前面我們講過 ，取樣閥一定要采用直通不帶壓力表的針形微調閥，這種閥死體積小，置換起來比較方便，管線也一定要采用不銹鋼硬鏈接的管線，任何軟管都不能采用。氣相色譜分析微量氧的方法主要有TCD、ECD、DID以及氧化鋯和質譜等方法，目前氣相色譜分析微量氧采用的色譜柱基本上都是填充柱，氧和氬氣很難分開，這樣就給TCD、DID等檢測器分析微量氧帶來了很大麻煩，因為我們國內生產的高純氮氣都含有2~上百ppm的氬氣，國內生產標準氣體的廠家基本上都沒考慮高純氮中氬的引入，這樣很多客戶在使用氣相色譜來分析微量氧時的數據完全失真，常常抱怨標準氣體不準，因為高純氮氣中的微量氬很難除掉，用氦氣或其他氣體做平衡氣，來解決這個問題，在必須采用氮氣做平衡時，會給出氬氣的含量作為分析微量氧的參考數據。
