| 項目 | 指標 | ||
| 優等品 | 一等品 | 合格品 | |
| 氧純度，10-2，≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
| 氬含量，10-6，≤ | 2 | 5 | 10 |
| 氮含量，10-6，≤ | 5 | 10 | 20 |
| 二氧化碳含量，10-6，≤ | 0.5 | 1 | 1 |
| 總碳含量（以甲烷計），10-6，≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 水分含量，露點℃，≤ （10-6） |
-72 (2) |
-70 (2.5) |
-69 (3) |
注：表中純度和含量為體積分數。
高純氧檢驗規則：
高純氧應由生產廠的質量檢驗部門檢驗。生產廠應保證所有出廠產品符合本標準要求。
瓶裝高純氧應逐瓶進行檢驗。
液態高純氧從毎一貯運容器中采樣檢驗。
檢驗管道中的高純氧，在設置的分析口采樣，8h內至少采樣檢查兩次。
當檢驗結果各項指標均符合標準要求時，整批驗收合格。
當被檢驗的高純氧有任何一項指標不符合本標準要求時，則該瓶產品視為不合格產品。
用戶亦按照本標準規定驗收。用戶在高純氧入庫三天內對鋼瓶內壓力進行測量。
當用戶和生產廠對產品質量發生意見分歧時，由雙方共同檢驗或提請仲裁。
