氣體圈子訊：凱美特氣7月29日晚間公告，公司控股子公司凱美特電子特種氣體公司已取得《危險化學品經營許可證》和《安全生產許可證》。目前，凱美特電子特種氣體公司的電子特種稀有氣體項目已可產出氯化氫基準分子激光混配氣、氟基準分子激光混配氣、動態激光混配氣、99.99996%二氧化碳等稀有氣體。其中氟基激光混配氣14000 Nm3/年、氯化氫基激光混配氣3600 Nm3/年、動態混配氣8600 Nm3/年生產。

據氣體圈子俱樂部了解，光刻是芯片制造最關鍵的工藝之一，由激光混配氣產生的光源則是光刻機核心。利用電子束激發惰性氣體和鹵素氣體結合形成的氣體分子， 向基態躍遷時所產生激光，特色是方向性強、波長純度高、輸出功率大， 例如 KrF （248 nm）、 ArF（193 nm）和 F2（157 nm）等。使用 193nmArF 光源的干法光刻機，其光刻工藝節點可達 45nm，采用浸沒式與光學鄰近效應矯正等技術后，其極限光刻工藝節點可達 28nm。激光混配氣是非常復雜且高精度的產品，一般一種激光混配氣中含有4-5種不同比例的組分氣體。

2020年7月24日-26日，凱美特氣派相關人員參加由氣體圈子俱樂部主辦的電子特種氣體培訓班，系統性學習電子特氣應用、安全、品質和Fab廠供應商管理等課程，準分子激光氣內容由曾在中芯國際研發部任職多年的資深人士授課，課程內容深入淺出，講解形象生動。

凱美特氣曾在2020年5月8日開業績說明會上表示，芯片配套相關的氣體必須通過國外特別是光刻機原廠認證和美國標物所的相關認證，再進入客戶的認證。另一方面，這個項目的相關產品不存在研發的問題，凱美特氣和美國頂尖的電子特氣團隊合資的相關技術,也是目前全球最高標準，主要是針對芯片制造商的氣體供應。凱美特氣電子特氣技術團隊先后攻克容器清洗、氣體提純、氣體混配等關鍵課題，樣品資料已經送往國際大廠，并且已經在認證過程當中。

電子特種稀有氣體項目的正式投產有利于進一步擴充凱美特氣體公司產品種類，樹立公司在特種稀有氣體行業的高品質形象。凱美特氣表示，其未來會繼續推動公司加大研發投入，開發生產多種芯片半導體、航空航天、生物醫藥等高科技領域特需的電子特種氣體、稀有惰性氣體，逐步扭轉國內目前電子特種氣體完全依賴進口的局面，形成行業內具有較大影響力的專業電子特種氣體和混配氣體研發及生產加工基地。

公告顯示，該項目總投資3.1億元，通過引進國外技術新建 25 套電子特種氣體項目生產裝置，采用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術，即將擁有生產高純度電子氣體的工藝。電子特氣項目先期啟動一期項目建設（計劃總投資1.97億元），建設規模為新建 12 套電子特種氣體生產及輔助裝置。

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