法國液化空氣集團(tuán)在已有的載氣、特氣及前驅(qū)材料之外,決定擴(kuò)大其產(chǎn)品范圍,向客戶提供一種新型的氟氣清洗解決方案。這是法液空集團(tuán)順應(yīng)電子行業(yè)清洗氣需求增勢(shì)所采取的重大戰(zhàn)略決策。
據(jù)了解,從2012年起,平板顯示器和硅基薄膜光伏制造廠將可以用上這種新型的氟氣清洗解決方案,該方案不僅能為客戶帶來顯著的經(jīng)濟(jì)效益,同時(shí)也有益于環(huán)境保護(hù)。另外,因其可通過大型現(xiàn)場(chǎng)制氣裝置直接生產(chǎn),還可幫助客戶提高生產(chǎn)力。該解決方案推出后,此前該行業(yè)廣泛應(yīng)用的清洗氣三氟化氮將被替代。