影響氧氣產量主要有下列因素：
1)加工空氣量不足。空氣量不足的原因有：
①環境溫度過高；
②大氣壓力過低；
③空氣吸入過濾器被堵塞；
④電壓過低或電網頻率降低，造成轉速降低；
⑤中間冷卻器冷卻效果不好；
⑥級間有內泄漏；
⑦閥門、管道漏氣，自動閥或切換閥泄漏；
⑧對分子篩純化流程來說，可能是切換蝶閥漏氣。
2)氮平均純度過低。原因有：
①精餾塔板效率降低；
②冷損過大造成膨脹空氣量過大；
⑧液氮純度太低，液氮量太大；
④液氮量過小；
⑤液空或液氮過冷器泄漏；
⑧污氮(或餾分)取出量過大；
⑦液空、液氮調節閥開度不當，下塔工況未調好。
3)主冷換熱不良。主冷換熱面不足，或氮側有較多不凝結氣體，影響主冷的傳熱，使液氧的蒸發量減少。
4)設備阻力增加。由于塔板、液空吸附器或過冷器堵塞，液空、液氮節流閥開度過小或被堵塞，將造成下塔壓力升高，進塔空氣量減少。當切換式換熱器凍結時，也將造成系統的阻力增加，進塔空氣量自動減少。
5)氧氣管道、容器存在泄漏。