高純氫氣中的氫氣體積比含量在99.999%以上，其生產工藝根據原料來源不同，有低溫吸附法,變壓吸附法,金屬氫化物法，鈀膜擴散法等多種方法。高純氫是工業氣體中的一個重要品種，廣泛應用于化工、石化、石油、能源、電子、冶金、機械、核工業、航空航天等諸多領域。近年來，隨著國內外工業氣體市場的迅速增長, 高純氫的求量也一直呈上升態勢。
    電子工業用高純氫氣配制混合摻雜氣的底氣，用于生產電真空材料和器件大規模和超大規模集成電路的制造，以及氫曾閘管、離子管、激光管等各種充氣電子管的填充，都需要純度很高的氫氣。電子行業是目前高純氫的最大用戶，僅以生產大規模集成電路為例，國內每年生產十億塊集成電路，約需消費高純氫一千萬立方米。氫氣與硅烷的混合氣在能源工業中用于制造大面積、高質量的非晶硅太陽能電池，在大容量太陽能電站飛機驅動電池民用供熱采暖等方面都有應用。據有關專家預測，世界太陽能電池的年銷售額將達到數一百億美元。
    在石化行業中,高純氫氣用于原油蒸餾或大型裂解裝置所得餾分的精制,在雙氧水、M DI和TDI生產中的加氫工藝也需要大量的氫氣.氫氣作為還原劑,在冶金工業中還原金屬氧化物,鎢、鈦、鈷、鉬、鉻等高品質產品。在食品工業中用作食品加工助劑, 生產人造黃油及油脂氫化。此外，氫氣在浮法玻璃、金屬熱處理、汽車燃料電池、航天器液體燃料、光導纖維等領域中也具有潛在的應用市場。
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