用氧化鋯氧分析儀除可以分析氧氣產品的氧純度外，也可分析高純氬和高純氮中的微量氧。根據氣體中微量氧的含量，要將分析儀調到相應的量程檔次。例如：0.1×10-6～10×10-6，8×10-6～100×10-6，80×10-6～1000×10-6，0.08%～1%，0.8%～10%等。它在測定時首先要將氣源加熱到750～850℃，所以要在接通電源，待爐溫指示燈閃亮后方可進行氧含量值的測定。在使用時，應注意以下一些事項：
1)控制流量。切不可用大流量，以免沖擊鋯管，使鋯管破裂、損壞。流量一般為500mL/min。
2)檢查氣密性。可用逐步檢漏法，取出機芯檢查。鋯管有一個三通接頭，容易發生漏氣的有兩處：一處為流量計漏氣；另一處為氧化鋯管破裂。先通入微量氣體，使流量轉子升至頂端滿刻度處，然后堵住流量計出氣管口。如果流量轉子下不來，則說明流量計漏氣；如果堵住儀器出口轉子下不來，則說明鋯管破裂。
3)用于氬氣分析時，流量計讀數在左側；用于氮氣分析時，流量計讀數在右側。
4)用于分析高純氬或高純氮時，如果將量程放在最小擋，指針一直靠左邊，表明氣中有還原性氣體，例如H2、CmHn、CO等。應設法除去，否則就無法測定。
5)測定含氧量小于0.1×10-3時，不宜用乳膠管連接，應用金屬管連接。